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PRODUCT INTRODUCTION

제품소개

산업제어

기체용 유량계

마이크로 플로우식 와류 유량계

[ Model MVF□□□]

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  • Manual
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  • Spec sheet
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  • Image catalog
    CP-PC-1333K-04(MF 기체용 질량유량계 셀렉션가이드).pdfDOWNLOAD

제품의 특장점

마이크로 플로우식 와류 유량계 Model MVF□□□는, 칼만 와류 감지에 당사 독자 개발의 열식 유량 센서인
마이크로 플로우 센서를 사용하여 100 : 1의 측정 범위를 실현했습니다.
또한, 온도 압력 보정 기구를 일체화 하여, 외부에서의 온도 압력 보정이 불필요하며, 큰 폭으로 비용 절감을 실현했습니다.
생산 공정, 시험 장비 등으로 사용하는 연료 가스 각종 공업 가스 공장 에어의 유량 관리 및 건물의 동 별 사용량 관리 등에 적합합니다.

사양

형번

MVF050

MVF080

MVF100

MVF150

구경

50A

80A

100A

150A

유량레인지
(사용 압력에 따라 질량 유량 레인지는 달라집니다)

압력0.1MPa

8~428m³/h
(normal)

11~946m³/h
(normal)

15~1457m³/h
(normal)

32~3135m³/h
(normal)

압력0.3MPa

9~854m³/h
(normal)

19~1886m³/h
(normal)

30~2904m³/h
(normal)

63~6249m³/h
(normal)

압력0.5MPa

13~1280m³/h
(normal)

29~2826m³/h
(normal)

44~4352m³/h
(normal)

94~9364m³/h
(normal)

압력0.7MPa

18~1706m³/h
(normal)

38~3765m³/h
(normal)

58~5799m³/h
(normal)

125~12478m³/h
(normal)

압력0.98MPa

23~2302m³/h
(normal)

51~5081m³/h
(normal)

79~7825m³/h
(normal)

169~16838m³/h
(normal)

대응 가스 종류

공기, 질소, 아르곤, 산소(금유(Oil free) 처리 형번을 선택하십시오), 탄산가스, 도시가스13A, 메탄, 프로판, 부탄, 기타 불활성 가스 각종 혼합 가스 폭발 한계 범위 외의 가스

 

체적유량 정밀도

14m³/h이상에서 ±2%RD

20m³/h이상에서 ±2%RD

29m³/h이상에서 ±2%RD

52m³/h이상에서 ±2%RD

공기의 경우 23 ℃, 0.5MPa 체적 유량일 때. 사용 압력과 유량 범위 따라 다릅니다.

온압 보정 후의 정밀도

압력0.5MPa、75m³/h(normal)에서 ±3.3%RD

압력0.5MPa、110m³/h(normal)에서 ±3.3%RD

압력0.5MPa、157m³/h(normal)에서 ±3.3%RD

압력0.5MPa、287m³/h(normal)에서 ±3.3%RD

사용 압력과 유량 영역에 따라 달라집니다.
압력 센서는 게이지 압 센서를 사용하고 있으므로, 대기압 변동 오차는 포함되지 않았습니다.

최소 측정 유량
압력0.1MPa

8m³/h
(normal)

11m³/h
(normal)

15m³/h
(normal)

32m³/h
(normal)

사용 압력 범위

형번:MVF***1CU*011**00 : 0~0.1MPa(±2%FS @23°C)
형번:MVF***3CU*011**00 : 0~0.3MPa(±2%FS @23°C)
형번:MVF***0CU*011**00 : 0~1.0MPa(±1%FS @23°C)

접속

웨이퍼 접속

전원

DC24V

질량(kg)

6.3

6.6

9

17