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제품의 특장점

Air 매스 플로우 센서 Model MCS100은, 수백 만대의 출하 실적을 가진 고유의 MEMS 센서를 탑재한 고속 응답, 소형 · 경량의 기체 유량계입니다.
열식 MEMS 센서 및 저압손의 유로를 조합하여, 수 mL / min부터 10L / min까지의 기체 질량 유량을 5ms의 고속 응답으로 계측합니다.

• 질량 유량 계측
  유체의 온도 · 압력에 관계없이 온도 보정·압력 보정을 실시하지 않고, 표준 상태(20℃, 1기압)로 환산한 유량 값을 출력합니다.
  ⇒ 유체 온도와 압력이 수시로 변화하는 사용 조건, 사용 장소의 표고가 정해지지 않은 장치에 탑재하기에 적합
• 소형 · 경량
  설치 장소를 가리지 않습니다. (33.5 x 10.5 x 17.0 mm, 9g)
  ⇒ 설치 공간이 한정되어 있는 기기에 탑재하기에 적합
• 5ms의 초고속 응답
  ⇒ 작은 유량의 차이와 변화를 검출할 수 있으며, 고속 덕트 어플리케이션에서의 유량 계측에 적합
• 정역 양방향 계측
  ⇒ 흐름 방향 감지, 흐름 방향이 바뀌는 계측에 적합
• 저소비전력(24Vdc 구동 시에 12mA max.)
  ⇒ 배터리 구동 핸드 캐리 기기에 탑재하기에 적합
• 자유로운 설치 자세, 전후의 직관 불필요
  ⇒ 실험실이나 다양한 산업 어플리케이션에서 간이적인 유량 계측 용도에 적합

유량 레인지의 라인업

■ 단방향 유량 계측 모델

• Model MCS100A104 : 0 ~ 3L / min
• Model MCS100A112 : 0 ~ 500mL / min
• Model MCS100A116 : 0 ~ 5L / min
• Model MCS100A120 : 0 ~ 10L / min

■ 양방향 유량 계측 모델

• Model MCS100A100 : -3 ~ + 3L / min
• Model MCS100A108 : -500 ~ + 500mL / min
• Model MCS100A128 : -10 ~ + 10L / min

구조 사양

• 재질
  가스 접촉부: PPS 수지(유로 바디), 세라믹(회로 기판), 황동(배관 접속부)
  커버: PC 수지
• 배관 연결 방식: M5 암나사(황동 인서트)
• 사용 온도 범위: 0 ~ 50℃ (주위 온도, 유체 온도 모두)
• 사용 압력 범위: -70 ~ 200kPa (출력 전압 정밀도 보증 범위는 0 ~ 200kPa)
• 내압: 300kPa

적용 어플리케이션과 추천 포인트

■ 가스 감지기, 대기 분석기, 에어 샘플러 등에서의 흡입 유량 계측·제어

• 펌프에서 흡입하는 유량을, 주위 온도의 변화와 대기압의 변화에 영향을 받지 않고 질량 유량으로 계측할 수 있습니다.
• 배터리 구동이 가능하므로, 핸드 캐리 기기에 탑재할 수 있습니다.

■ 산소 농축기에서의 산소 공급 유량 계측·제어

• 공급 산소 유량(*)를 실내 온도 및 설치 장소의 표고의 영향을 받지 않고 질량 유량으로 계측할 수 있습니다.
• 플로트식 유량계에서 대체하기에 적합합니다.

* 농도 95%, 압력 50kPa을 초과한 산소에 사용할 수 있습니다.
본 제품의 가스 접촉부에는 산소 금유(Oil free) 처리는 실시하지 않습니다.

■ 와이어 본더 등으로 퍼지, 냉각 유량 관리

• 아지랑이를 제거하기 위한 에어 퍼지 유량 계측.
• 산화 방지를 위한 질소 퍼지 유량 계측.
• 플로트식 유량계와 압력계를 대체하기에 적합합니다.

■ 미소 전자 부품 · 광학 부품의 흡착 구현 확인

• 고속 덕트의 흡착 확인에 사용할 수 있는 초고속 응답성.
• 진공 노즐 근방에 설치 가능(흡착 확인에 시간 지연이 발생하지 않습니다).
• 진공 센서에서는 출력 값에 변화가 생기지 않는 극히 소량의 유량 변화를 감지 가능.
• 질량 유량 계측이며, 흡입(진공) 압력 변동의 영향을 받기 어려움.
• 노즐의 막힘이나 끝 부분 찌그러짐 여부를 노즐 개방 시의 흡입 유량의 변화로 감지 가능.

악세서리

■ 멀티 채널 유량 표시기 Model MCW401

매스 플로우 센서 Model MCS100을 4대까지 연결할 수 있으며, 순시 유량 값을 표시합니다.

• 오픈 콜렉터 스위치 출력 4점
• 미세 부품의 흡착 · 구현 확인 애플리케이션에 적합한 네 종류의 창 분할 모드 및 일반적인 유량 관리에 적합한 두 종류의 히스테리시스 모드를 표준 장비하였습니다.
• RS-232C 통신 기능을 이용하여, 컴퓨터나 시퀀서에서 본 기기의 파라미터 설정, 순시 유량 값의 확인, 스위치 출력의 동작 상태를 모니터링 할 수 있습니다.
• 조합 가능한 플로우 센서 형번
  Model MCS100A100, MCS100A104, MCS100A108, MCS100A112, MCS100A120, MCS100A128