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PRODUCT INTRODUCTION

제품소개

산업제어

기체용 유량컨트롤러

소형 디지털 매스 플로우 컨트롤러

[ Model F4H/F4H00026U]

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  • Manual
    CP-SP-1405K-02.PDFDOWNLOAD
  • Manual
    CP-UM-5905JECK-05.PDFDOWNLOAD
  • Image catalog
    CP-PC-1590K-02(F4H 소형 디지털 매스 플로우 컨트롤러).pdfDOWNLOAD
  • CAD data
    F4H00026U.zipDOWNLOAD

제품의 특장점

소형 디지털 매스 플로우 컨트롤러 Model F4H 시리즈는, 당사의 응답성 · 제어성이 뛰어난 기존 매스 플로우 컨트롤러를 소형화 하여 디지털 통신 기능을 발전시킴으로써
제조 장치의 소형화 · 총 비용 절감 · 제조 현장의 IoT에 기여하는 기체용 유량 컨트롤러 제품입니다.

제품 소개 영상



소형화

당사 기존 제품보다 부피를 50%로 줄여 소형화 하였습니다.

소형화 된 아즈빌 디지털 매스 플로우 컨트롤러 F4H

디지털 통신의 활용

전 기종이 디지털 통신을 탑재하고 있으며, 고장 진단에 유용한 많은 정보를 상위 기기로 보낼 수 있습니다.
또한, 스마트 디바이스 게이트웨이 Model NX-SVG를 사용하면, PLC(프로그래머블 로직 컨트롤러)와 프로그램 없이 통신을 구축할 수 있습니다.

아즈빌 기체용 유량 컨트롤러 F4H의 디지털 통신 활용

강력한 내(耐)노이즈 성능

전원 회로와 신호 회로를 절연하여, 전원 노이즈의 아날로그 신호에 대한 영향을 해소했습니다.

아즈빌 디지털 매스 플로우 컨트롤러 F4H의 강력한 내노이즈 성능

토탈 코스트 절감

기존 아날로그 신호에서 통신으로 PLC와의 접속을 이행함으로써, 아날로그 I/O 모듈을 줄일 수 있습니다.

아즈빌 디지털 매스 플로우 컨트롤러 F4H의 토탈 코스트 절감

어플리케이션

PVD(Physical Vapor Deposition)

프로세스 챔버의 진공도를 제어하기 위해 아르곤 가스 등을 공급합니다.
플라즈마 전원의 강한 노이즈에 대한 내(耐)노이즈성, 진공도를 정확하게 제어하기 위해 우수한 제어성과 정밀도가 기여합니다