PRODUCT INTRODUCTION
제품소개산업제어
제품의 특장점
소형 디지털 매스 플로우 컨트롤러 Model F4H는, 당사의 응답성 · 제어성이 뛰어난 기존 매스 플로우 컨트롤러를 소형화 하여 디지털 통신 기능을 발전시킴으로써
제조 장치의 소형화 · 총 비용 절감 · 제조 현장의 IoT에 기여하는 기체용 유량 컨트롤러 제품입니다.
소형화
당사 기존 제품보다 부피를 50%로 줄여 소형화 하였습니다.
디지털 통신의 활용
모든 기종이 디지털 통신을 탑재하고 있으며, 고장 진단에 유용한 많은 정보를 상위 기기로 보낼 수 있습니다.
또한, *스마트 디바이스 게이트웨이 Model NX-SVG를 사용하면, PLC(프로그래머블 로직 컨트롤러)와 프로그램 없이 통신을 구축할 수 있습니다.
(*스마트 디바이스 게이트웨이: 각종 제어 디바이스 간 정보 연계를 프로그램 없이 실현, 개발 작업을 스마트하게 할 수 있는 통신 게이트웨이입니다.)
강력한 내(耐) 노이즈 성능
전원 회로와 신호 회로를 절연하여, 전원 노이즈의 아날로그 신호에 대한 영향을 해소했습니다.
토탈 코스트 절감
기존 아날로그 신호에서 통신으로 PLC와의 접속을 이행함으로써, 아날로그 I/O 모듈을 줄일 수 있습니다.
어플리케이션
PVD(Physical Vapor Deposition)
프로세스 챔버의 진공도를 제어하기 위해 아르곤 가스 등을 공급합니다.
플라즈마 전원의 강한 노이즈에 대한 내(耐)노이즈성, 진공도를 정확하게 제어하기 위해 우수한 제어성과 정밀도가 기여합니다.
