PRODUCT INTRODUCTION
제품소개산업제어
사파이어 격막진공계
사파이어 격막진공계
[Model V8C/V8S]
제품의 특장점
사파이어 격막 진공계 Model V8은 MEMS 가공 기술을 응용한 센서에 의해, 내(耐) Deposition 성능을 개선했습니다.
수압부에 고내식성, 고내열성이면서 기계 특성에도 뛰어난 단결정 사파이어를 사용하였으며,
Model V8S에서는 최고 사용 온도 250℃를 실현했습니다.
제품 소개 영상
■ 내(耐) Deposition 성능 향상에 의한 다운 타임 저감
MEMS가공 기술을 응용하여, 시프트량을 10분의 1로 개선했습니다.
응력 밸런스 구조
감압부의 외주부에 두께를 확보하여, 외주부와 중심부에 걸리는 응력 밸런스를 상쇄함으로써
감압부가 변형하기 힘든 제로점 시프트를 저감
V8센서 구조도
요철(凸凹) 센서
감압부의 표면을 요철로 가공하여, 부착막을 분단해 퇴적물의 응력 영향을 저감
■ 250℃까지 사용 가능, 프로세스 가스의 고온화에 대응
Model V8S는, 기판 부분과 센서부의 분리와 사용 소재의 검토에 의해 최고 사용 온도 250℃를 실현했습니다.
■ 소형화에 의한 설치 면적의 저감
내장 부품의 효율적 배치로 당사 기존 제품(Model SPG□□□) 대비 부피를 40% 줄였습니다.